檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "材料科學與工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="前驅物[(CH3CH2)C5H4]2Ru有機金屬化學氣相沉積法成長二氧化釕奈米結構及其特性分析"
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使用[(CH3CH2)C5H4]2Ru當前驅物,於冷壁式有機金屬化學氣相沉積系統中成長二氧化釕奈米結構,探討前驅物溫度,基板溫度,噴頭溫度等條件對成長奈米結構的影響。 作奈米結構的表面形貌與結構和光…